SINGULUS TECHNOLOGIES ist ein renommierter Hersteller von fortschrittlichen Nano Beschichtungsanlagen für Halbleiteranwendungen. Mit der TIMARIS III wurde eine PVD-Cluster-Tool-Plattform vorgestellt, die ein komplettes Portfolio an Prozessmodulen für unterschiedliche Anwendungen umfasst. Dazu gehören die Abscheidung ultradünner metallischer und isolierender Schichten bis zu einer Dicke von einem Nanometer und darunter sowie Schichtkombinationen mit sehr genauen Materialstärken und einer sehr hohen Schichtdickengleichgmäßigkeit.