蚀刻

蚀刻

干法蚀刻通常用于在沉积工艺前清洁晶圆等衬底。这是一种通过向晶圆施加射频电流来进行溅射蚀刻的标准技术。通常是通过调整蚀刻工艺参数去除残余水和其他分子以及天然氧化物。此外,集团也提供适用于太阳能电池的湿化学蚀刻工艺。