RTP / CSS

快速热处理 / 近空间升华

快速热处理(RTP)和近空间升华法(CSS)是制备CIGS和CdTe太阳能电池组件的重要工艺步骤。在CIGS制备过程中,利用快速热处理工艺使金属前驱物在高硒分压下进行硒化。近空间升华炉则是制备CdTe太阳能电池组件的关键工艺设备。