适用于半导体领域 – 可靠的真空沉积设备
德国新格拉斯科技集团作为全球知名的先进薄膜沉积设备制造商,是业界值得信赖的合作伙伴。集团致力于为MRAM、薄膜磁头、传感器、磁芯电感器和其它半导体应用领域提供生产设备,并将持续巩固其在半导体薄膜沉积技术方面的领先地位。
集团旗下的TIMARIS设备能为多种应用提供完整的工艺模块组合。
应用
- TMR, pTMR – MRAM
- 磁性传感器(GMR, AMR, TMR)
- 集成电感器
- 集成电压调节器(降压变换器)
- MEMS
- 高力矩材料
- TFH读写器
- 半导体器件