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CSS

适用于CdTe太阳能电池的CSS涂层设备

特征:

  • 入口模块配置连接工厂自动化系统的端口
  • 真空加热和冷却腔,能对基板进行精确的温度分布
  • 沉积腔配置易维护的升华源
  • 出口模块用于快速均匀的冷却工艺
  • 室温冷却段具有快速冷却功能,配置连接工厂自动化系统的端口
  • 可靠的真空设备

 

近空间升华法(CSS)是制备CdTe太阳能电池组件的重要工艺步骤。CSS升华设备是用于生产CdTe薄膜太阳能组件的自动化产线中不可或缺的部分。

近空间升华法被用于在玻璃基板上沉积光吸收层。使用近距离升华设备,可以在镀有透明导电氧化物薄膜的玻璃衬底上沉积硫化镉或硒化镉薄膜,以及碲化镉薄膜。

为了准确获得所需的薄膜厚度,设备要对蒸发源坩埚、基板传输系统、加热系统进行精心的调控与组合。此外,该设备还可用于沉积其它镉化物薄膜。

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