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薄膜涂层与表面处理

真空涂层

GENERIS PVD – 水平基板传输的在线真空溅射设备

GENERIS PET – 钝化边缘技术 – 半切、多次切割与叠瓦电池片

GENERIS PVD – 用于燃料电池高效双极板生产的流线型PVD镀膜设备

HISTARIS – 适用于玻璃应用的水平基板传输在线溅射设备

VISTARIS – 垂直基板传输的在线溅射设备

SELENIUS – 适用于CIGS薄膜太阳能电池生产的蒸发设备

用于研发和试验线的溅射设备

POLYCOATER – 适用于三维工件金属化的在线溅射设备

DECOLINE II 绿色金属化 – 适用于三维工件可持续镀膜的在线生产设备

GENERIS PEVCD等离子体增强化学气相沉积设备

CISARIS CX 3 – 先进的快速热处理硒化/硫化设备

CSS – 适用于CdTe太阳能组件生产的近空间升华设备

半导体

TIMARIS – 集束型半导体制程设备

TIMARIS – 模块概述

TIMARIS – 设备平台

湿法化学处理

SILEX III – 适用于高效太阳能电池的槽式设备

MEDLINE – 适用于医疗产品的清洗和沉积设备

GERULUS – 硅片清洗与脱胶设备

MATERIA PCE – 适用于太阳能与半导体行业的先进硅料清洗设备

涂漆

PAINTLINE 适用于三维工件的在线涂漆设备

DECOLINE II在线镀膜设备（集成涂漆设备）

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