清洁功能: 去除锯切过程中产生的各种污染杂质。

从载具上分离：将硅片从原载具上分离，称为“脱胶“，该步骤是为硅片制备的关键步骤。

自动化：GERULUS能够自动装卸载不同尺寸和形状的硅片，确保高产能，精简工艺流程。

工艺灵活性：GERULUS设备能提供多种清洁和分离方式，可满足不同硅片尺寸、载具和胶水类型的特定要求。

质量保证：通过工艺过程监控等多种方式，确保清洁后的硅片符合纯度和质量的严苛标准。

综上所述，GERULUS硅片预清洁和脱胶设备在优化硅片清洁和制备方面发挥着关键作用，以确保后续生产的半导体组件具有卓越的质量和性能。