适用于太阳能与半导体行业的先进硅料清洗设备
集团推出的MATERIA平台是硅原料制备的先进解决方案，用于对太阳能与半导体应用的单晶硅与多晶硅块进行化学蚀刻、清洁与干燥处理。设备的设计符合硅生产严苛的纯度标准，并优先考虑成本效益，是工业生产中不可或缺的一环。
关键特征
- 适用于多晶硅（电子、太阳能或UMG级）
- 适用于不同硅料尺寸的分拣
- 年产能高达3000吨（可根据客户要求定制）
- 设备可全年无休运行
- 高稼动率
- 符合国际安全标准
- 可选配承载器传送与管理系统（闭环系统），包括与前后工艺步骤的互连（如包装）
高度工艺灵活性
- 为硅料高效清洁提供多种先进解决方案，涵盖多种清洁方法，如臭氧清洁、超声波清洁和高压喷射
- 通过图形用户界面或制造执行系统（MES）实现多配方管理
- 提供工艺流程支持服务
- 先进的真空干燥工艺，可安全稳定地对硅料清洗篮进行干燥
优化工艺篮
- 缩短干燥时间
- 最大限度减少水和酸残留物
低运营成本
- 减少淡水和化学品消耗
- 持续监测和跟踪消耗量数据
MATERIA PCE设备提供了一种多功能、高效、经济的解决方案，为太阳能和半导体行业的硅料清洁技术树立了新的标准。
