用于燃料电池高效双极板生产的流线型PVD镀膜设备
GENERIS PVD
用于燃料电池高效双极板生产的流线型PVD镀膜设备
德国新格拉斯科技集团为燃料电池——尤其是基于聚合物质子膜技术的燃料电池提供高效解决方案。集团的创新PVD溅射技术能够进行高质量、低成本的生产，使用轻质金属板在双极板表面沉积一层保护层，同时满足燃料电池对双极板性能的要求。集团开发的GENERIS PVD模块化设备配置灵活，能够适应研发到批量生产的各种应用。设备通过传输系统在各腔体间运输基板，能够精确地完成双面镀膜工艺。
Generis PVD 设备平台
- Generis 750 S （小产能）
沉积面积：约510 x 1,500 mm
传输模式：多通路在线，单侧/双侧 - Generis 1250 M （高产能）
沉积面积：约850 x 1,000 mm
传输模式：在线，双侧 - Generis 1800 L （超高产能）
沉积面积：约1,400 x 1,600 mm
传输模式：在线，双侧
主要性能特征
- 多基板并行处理，适用不同的基板尺寸
- 模块化配置，可根据要求提供手动或半自动实验室版本
- 低运营成本、高稼动率
- 在沉积前对基板进行有效预处理
- 在沉积前与沉积时对基板进行加热
- 双面溅射
- 溅射顺序可调整
- 可旋转圆柱形磁控管，可最大程度提高靶材利用率
Generis 750 S （小产能）
Generis 1250 M （高产能）
Generis 1800 L （超高产能）