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SELENIUS

适用于薄膜太阳能的蒸发设备

特征

  • 优化维护概念,最大限度地提高设备可用性/正常运行时间
  • 高沉积率
  • 工艺过程中的温度均匀性极佳
  • 基板预热功能
  • 实时监测流量和温度
  • 基于可靠的风险管理和安全工程验证的安全概念
  • 高产能在线蒸发设备
  • 模块化腔体设计实现灵活的布局概念,以满足客户的生产要求
  • 独特的腔体设计,确保蒸发源利用率最大化(减少壁沉积)
  • 沉积速度快、工艺重复性高
  • 出色的流体均匀性
  • 便捷的蒸发源补充/更换方式

SELENIUS在线共蒸发设备专用于铜-铟-镓-硒层的沉积,致力于为CIGS薄膜太阳能电池制备性能最佳的前体层。

该设备由一个装卸站、多个加热/冷却站和沉积腔体组成。凭借其先进的热沉积技术,可以最大化地利用材料,确保层均匀性。SELENIUS在线蒸发设备拥有高稼动率、高良率的优点,是兼具性能与灵活性的生产平台。

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