SILEX III的核心是多年来不断改进并适应未来生产 需求的碱性制绒工艺。德国新格拉斯科技集团致力 于提供稳定的、经过批量生产验证的成熟工艺，可 用于所有常见的和即将推出的电池组。通过使用不 同的添加剂和工艺参数，可以轻易地调整金字塔的 尺寸和形状。

高效清洁是今后电池生产线中不可或缺的工艺步 骤，是进一步提升电池性能和降低成本的关键。基 于臭氧工艺开发的新型湿法平台SILEX III，利用自 主研发的臭氧发生器SINGOZON系统，提供高浓 度、高稳定性的臭氧环境，能够有效去除衬底表面 的有机物及金属污染物。由于化学品的成本和消耗

量较低，工艺控制简单且金属去除效率较高， 臭氧清洗已成为光伏和半导体行业公认的替代传 统、昂贵的多步骤RCA清洁的理想解决方案。 臭氧结合HF溶液还能用于表面金字塔的磨圆工艺， 从而在HJT生产线中实现最佳的钝化表面。

SILEX III设备同样适用于PERC及TOPCon电池生产 中的碱刻蚀工艺，结合单面在线HF清洗工艺，可以 获得具有抛光效果的刻蚀表面，有利于提高PERC 电池以及后续升级到的TOPCon技术的电池性能。 基于上述技术优势，集团能够提供环保的、不含硝 酸(无氮)的化学湿法刻蚀工艺。

SILEX III ALTEX设备使用无异丙醇制绒工艺， 较之传统蚀刻设备能显著节省成本。该制绒工艺可 根据标准和先进电池技术各自的需求进行调整。

SILEX III CLEAN 适用于沉积工艺前/后的清洗步 骤。根据电池工艺流程和需求，可针对RCA、臭氧 清洁或微蚀刻工艺单独进行配置。