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SILEX III

适用于太阳能电池槽式清洗与蚀刻的模块化自动湿法处理设备

特征

  • 每小时产能为6,000-13,800 片硅片(M0-M12+)
  • 高稼动率
  • 低破片率
  • 臭氧强化清洁与蚀刻
  • 快速稳定的无异丙醇制绒工艺
  • 合理有效的冲洗和干燥

德国新格拉斯科技集团为标准及高效电池生产线中的硅晶片湿法化学处理提供完整的自动干进/干出解决方案。集团于2021年推出的SILEX III槽式设备采用简洁的模块化设计,具有占地面积小、配置灵活度高等优点,能提供多种工艺选项,以满足目前和未来大规模生产对于设备产能、灵活性和稳定性的需求。

SILEX III是专为进一步大规模生产设计的湿法处理设备,每小时出片量可达到6,000 片至14,000片,可满足年产能550兆瓦的异质结电池生产需求。

SILEX III设备拥有较高的工艺良率,碎片率低至0.01%。

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