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VISTARIS

VISTARIS 适用于薄膜太阳能及其它应用的垂直基板传输在线溅射设备

特征

  • 无需额外的载板回传系统
  • 基板装卸载位于设备同一侧
  • 通过使用旋转圆柱形磁电管最大程度利用靶材
  • 沉积前和沉积过程中可对温度进行控制
  • 通过回转腔技术使设备达到最小占地面积

德国新格拉斯科技集团为行业提供工艺成熟的溅射设备——垂直基板传输的VISTARIS设备,目前主要应用于CIGS 和CdTe薄膜太阳能电池的生产。凭借先进的工艺技术,该设备能够在提高薄膜电池效率的同时降低生产成本。在光伏技术方面,集团开发并制造的涂层设备可以镀特殊膜以及不同材料的多层膜。在光伏领域以外,该设备还能为大型玻璃表面等其它应用提供理想条件,例如以正面透明或背面金属导电层以及各种材料组成的多层前驱体涂层。

VISTARIS设备适用于ITO、AZO等溅射材料和Mo、Al、Cu、Ag、NiV等金属层,其主要优势在于可以用来对玻璃衬底进行真空立式涂层。

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