Die Produktionsanlagen von SINGULUS TECHNOLOGIES sind für die Zellproduktion mit hohem Durchsatz und geringen Material- und Medienverbrauch ausgelegt und ermöglichen eine Verbesserung des Wirkungsgrades, die Einsparung von Energie und Rohstoffen sowie die Reduzierung der Herstellungskosten.

Um neue, hocheffiziente Zellkonzepte wie PERC, HJT, IBC, passivierte Kontakte und Tandemzellen erfolgreich in die industrielle Massenproduktion zu überführen, sind u.a. zuverlässige Maschinen erforderlich, die die folgenden Prozessschritte abdecken:

• Vakuum-Beschichtung (Sputtern und Aufdampfen)
• CVD-Vakuum-Beschichtung (PECVD)
• Nasschemische Verfahren
• Spezifische thermische Prozesse zur Erzielung optimaler Schichteigenschaften
• Eine Kombination von Vakuum-, nasschemischen und thermischen Prozessanlagen für die Herstellung von Tandem-Solarzellen