Solarzellen

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Innovative Technologie für PERC, HJT, IBC, HBC, TOPCon und Tandem-Solarzellen

Die Produktionsanlagen von SINGULUS TECHNOLOGIES sind für die Zellproduktion mit hohem Durchsatz und geringen Material- und Medienverbrauch ausgelegt und ermöglichen eine Verbesserung des Wirkungsgrades, die Einsparung von Energie und Rohstoffen sowie die Reduzierung der Herstellungskosten.

Um neue, hocheffiziente Zellkonzepte wie PERC, HJT, IBC, passivierte Kontakte und Tandemzellen erfolgreich in die industrielle Massenproduktion zu überführen, sind u.a. zuverlässige Maschinen erforderlich, die die folgenden Prozessschritte abdecken:

  • Vakuum-Beschichtung (Sputtern und Aufdampfen)
  • CVD-Vakuum-Beschichtung (PECVD)
  • Nasschemische Verfahren
  • Spezifische thermische Prozesse zur Erzielung optimaler Schichteigenschaften
  • Eine Kombination von Vakuum-, nasschemischen und thermischen Prozessanlagen für die Herstellung von Tandem-Solarzellen

GENERIS PVD Sputtering System

GENERIS PVD Inline Sputtering System for Heterojunction Solar Cells

GENERIS PECVD System

Inline PECVD System for AlOx and SiNy Deposition on PERC Solar Cells

SILEX III Wet Processing System

Modular, Automated Wet Processing System for Batch Cleaning and Etching for Solar Cells